殘氧儀的測量精度受多種因素影響。傳感器性能是關鍵因素，不同類型的傳感器精度不同，且傳感器的老化、污染會降低測量精度。環境因素方面，溫度、濕度和壓力的變化會影響氣體的狀態和傳感器的工作性能，例如溫度過高或過低會使電化學傳感器的化學反應速度改變，導致測量偏差；濕度較大可能會使傳感器受潮，影響測量準確性。氣體流量也會對測量結果產生影響，流量不穩定或不符合儀器要求，會導致氣體在傳感器內的反應不充分或過度，造成測量誤差。此外，儀器的校準狀態、采樣管路的長度和材質等也會影響測量精度，采樣管路過長或材質吸附性強，可能會導致氣體成分發生變化，從而影響測量結果。